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11月1日讲座——南开大学罗锋教授:超精密制造与集成电路工艺与装备

作者:田燕宁  编辑:院科研办   发布日期: 2022-10-27   来源:院科研办  

讲座题目:超精密制造与集成电路工艺与装备

主 讲 人:罗锋 教授(南开大学)

讲座时间:111日(周二)上午915-1030

讲座地点:钱伟长楼211会议室、腾讯会议室: 725-973-977

 

欢迎有兴趣的师生前来聆听!

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20221027

讲座内容简介:

针对Sub-7nm以下先进工艺节点中涉及的新材料和新器件,以及相关的失效检测方法,重点围绕光刻,刻蚀,沉积等集成电路装备的现状和研发趋势和技术挑战,系统介绍团队在此领域的相关工作与布局。

主讲人简介:

罗锋现任南开大学材料科学与工程学院讲席教授,西安交通大学兼职讲座教授(2018-2020)1995 年至 2004 年就读于北京大学化学与分子工程学院,获学士和博士学位。2004年至 2009年在德国和瑞士从事博后工作,2009年至2010年在北京大学工学院担任PI特聘研究员。2010年至2020年就职于西班牙高等研究院纳米研究所,历任副研究员、研究员、终身制资深研究教授,2020 年至今就职于南开大学,先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才项目、第九届侨界贡献奖等,目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员,深圳产业光源集成电路板块顾问,上海光源用户委员会委员,兰州航空集成电路与新材料研究院理事,内蒙古科学技术研究院科学技术委员会委员,中国感光学会光刻材料与技术专业委员会委员。